〔記者洪友芳/新竹報導〕烏克蘭為半導體原料氣體供應大國,研調積機構TrendForce指出,烏俄衝突雖可能衝擊該地區惰性氣體供應,但在半導體廠或氣體供應廠皆備有庫存,且仍有其它地區供應的情況下,短期內雖不至於造成產線中斷影響產出,不過,氣體供應量減少將可能造成價格上漲,晶片生產成本可能因此上漲。
TrendForce表示,半導體原料氣體包含氖、氬、氪、氙等,其中氖氣由烏克蘭供應全球近7成產量,儘管氖氣在半導體製程中使用比重並不如其他產業,但為必要原物料,若供應受阻仍將對產業造成影響。
TrendForce認為,惰性氣體主要應用在半導體微影製程,製程線寬進入DUV(深紫外光)光源準分子雷射世代,DUV準分子雷射當中所需要的惰性混合氣體就包含氖氣,氖氣為混合氣體當中的必要氣體,難以取代,半導體微影製程當中需要氖氣的製程主要為DUV曝光,製程節點涵蓋自8吋晶圓180nm到12吋晶圓1Xnm。
TrendForce研究顯示,晶圓代工方面,全球180~1Xnm產能占整體約75%,除有提供EUV先進製程的台積電及三星外,多數晶圓廠180~1Xnm營收占比超過9成,自2020年起供貨極為緊張的零組件包含電源管理、Wi-Fi、RF、MCU等製造製程皆落在此區間。DRAM除了美光外,韓廠正逐步加大1alpha nm(使用EUV製程)占比,但目前仍有超過9成的產能採用DUV製程;NAND Flash則全數採用DUV微影技術。
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