PH3

一種無色、劇毒、有魚腥臭味的氣體。氣態可與空氣形成爆炸性混合物並自燃，產生白色煙霧五氧化二磷，吸入後可嚴重刺激呼吸道。常應用於半導體(Oxidation/Diffusion/Epitaxy/CVD/Implant/Etching)、LED磊晶製程。