SiH4

在室溫下，矽甲烷是一種易燃的氣體，在空氣中，無需外加火源，矽甲烷就可以自燃。在超過420ºC的環境下，矽甲烷會分解成矽和氫，因此矽甲烷可以被用來以薄膜沉積提純矽，是半導體工業重要的特用電子級氣體之一。