CO2

二氧化碳Carbon dioxide (CO2)為無色、無味、無臭的氣體。不可燃、不自燃、不助燃，比空氣重，可使可燃物和空氣中的氧隔離，故CO2可用做滅火劑。可應用於半導體Etching/clean/thin film製程中。