Specification
產品名稱 | 規格 | |||
PURITY | PACKAGE | VALVE | CONTENT | |
PH3 | 6N | 44L | DISS632 | 15 |
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一種無色、劇毒、有魚腥臭味的氣體。氣態可與空氣形成爆炸性混合物並自燃,產生白色煙霧五氧化二磷,吸入後可嚴重刺激呼吸道。常應用於半導體(Oxidation/Diffusion/Epitaxy/CVD/Implant/Etching)、LED磊晶製程。
產品名稱 | 規格 | |||
PURITY | PACKAGE | VALVE | CONTENT | |
PH3 | 6N | 44L | DISS632 | 15 |