PH3

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一種無色、劇毒、有魚腥臭味的氣體。氣態可與空氣形成爆炸性混合物並自燃,產生白色煙霧五氧化二磷,吸入後可嚴重刺激呼吸道。常應用於半導體(Oxidation/Diffusion/Epitaxy/CVD/Implant/Etching)、LED磊晶製程。

Specification

產品名稱  規格
 PURITY PACKAGE VALVE CONTENT
 PH3 6N 44L DISS632  15