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C3F8
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分类:
特殊气体
无色,不可燃气体,微溶于水中。常温下是低压液化气体,化学活性低,热稳定性好。其与可燃气体一起燃烷时分解产生有毒的氟化物。可应用于半导体Etching/Clean制程中。
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C3F8
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