C3F8

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无色,不可燃气体,微溶于水中。常温下是低压液化气体,化学活性低,热稳定性好。其与可燃气体一起燃烷时分解产生有毒的氟化物。可应用于半导体Etching/Clean制程中。

Description

产品名称 规格
PURITY PACKAGE VALVE CONTENT
C3F8 5N 47L JIS22R 40