CF4

四氟化碳，又称为四氟甲烷，在常温下，为无色、无臭、不燃的易压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，不易溶于水。可应用在半导体CVD/Etching/去光阻/Clean、Solar cell产业。