PH3

一种无色、剧毒、有鱼腥臭味的气体。气态可与空气形成爆炸性混合物并自燃，产生白色烟雾五氧化二磷，吸入后可严重刺激呼吸道。常应用于半导体(Oxidation/Diffusion/Epitaxy/CVD/Implant/Etching)、LED磊晶制程。