SiH4

在室温下，硅烷是一种易燃的气体，在空气中，无需外加火源，硅烷就可以自燃。在超过420ºC的环境下，硅烷会分解成硅和氢，因此硅烷可以被用来以薄膜沉积提纯硅，是半导体工业重要的特用电子级气体之一。